F05200 - SEMI F52 - Dimensional Specification for Metric PFA Tubes for Semiconductor and Flat Panel Display Manufacturing Revision:SEMI F52-0600 - Superseded 2 Chemical reagents may include

2  Chemical reagents may include acids

本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。

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SEMI E88-1106 (technical revision)

This Guide is provided as a reference for diffusion furnace equipment manufacturers and customers

F05200 - SEMI F52 - Dimensional Specification for Metric PFA Tubes for Semiconductor and Flat Panel Display Manufacturing Revision:SEMI F52-0600 - Superseded 2 Chemical reagents may includeThis specification was technically approved by the Global Liquid Chemical Distribution Systems Committee and is the direct responsibility of the Japanese Liquid Chemical Distribution Systems Committee. Current edition approved by the Japanese Regional Standards Committee on June 19, 2001. Initially available on www. semi. org August 2001; to be published November 2001. Originally published June 2000. NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an